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PLD법에 의한 고집적 DRAM용 PLZT 박막의 레이저 에너지 밀도에 따른 특성 = Laser energy density dependence characteristics of PLZT thin films prepared by a PLD for memory device
표제/저자사항 PLD법에 의한 고집적 DRAM용 PLZT 박막의 레이저 에너지 밀도에 따른 특성 = Laser energy density dependence characteristics of PLZT thin films prepared by a PLD for memory device / 마석범, 장낙원, 백동수, 최형욱, 박창엽
형태사항 p. 60-65: 삽도; 26 cm
주기사항 수록자료: 전기전자재료학회논문지. 한국전기전자재료학회. Vol.13 no.1(2000년 1월), p. 60-65 13:1<60 상세보기 ISSN 1226-7945
저자: 마석범, 용인송담대학 전기설비과 E-MAIL: sbma@dragon.ysc.ac.kr
저자: 장낙원, 삼성전자 반도체연구소 TD팀
저자: 백동수, KIST 박막기술연구센터
저자: 최형욱, 경원대학교 전기전자공학부
저자: 박창엽, 연세대학교 전기·컴퓨터공학과
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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