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Enhanced-inductively coupled plasma(E-ICP)를 이용한 silylated photoresist 식각공정개발 = (The)development of silylated photoresist etch process by enhanced-inductively coupled plasma
표제/저자사항
Enhanced-inductively coupled plasma(E-ICP)를 이용한 silylated photoresist 식각공정개발 = (The)development of silylated photoresist etch process by enhanced-inductively coupled plasma / 조수범, 김진우, 정재성, 오범환, 박세근, 이종근
형태사항
p. 227-232: 삽도; 26 cm
주기사항
수록자료: 전기전자재료학회논문지. 한국전기전자재료학회. Vol.15 no.3(2002년 3월), p. 227-232 15:3<227 상세보기 ISSN 1226-7945
저자: 조수범, 인하대학교 전자재료공학과 E-MAIL: obh@inha.ac.kr
저자: 김진우, 인하대학교 전자재료공학과
저자: 정재성, 인하대학교 전자재료공학과
저자: 오범환, 인하대학교 전자재료공학과
저자: 박세근, 인하대학교 전자재료공학과
저자: 이종근, (주)A.S.E
저자: 조수범, 인하대학교 전자재료공학과 E-MAIL: obh@inha.ac.kr
저자: 김진우, 인하대학교 전자재료공학과
저자: 정재성, 인하대학교 전자재료공학과
저자: 오범환, 인하대학교 전자재료공학과
저자: 박세근, 인하대학교 전자재료공학과
저자: 이종근, (주)A.S.E
출처
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MARC 보기
001KMO201509136
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24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
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9501 ▼a가격불명
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
