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열처리조건에 따른 SIMOX SOI의 특성 = (The)effects of annealing conditions on the character istics of SIMOX SOI
표제/저자사항 열처리조건에 따른 SIMOX SOI의 특성 = (The)effects of annealing conditions on the character istics of SIMOX SOI / 裵泳鎬, 權英規, 金光一, 鄭旭珍, 曺贊燮, 李鍾玄
형태사항 p. 54-61: 삽도; 26 cm
주기사항 수록자료: 電子工學會論文誌.A. 大韓電子工學會. 28卷 8號(1991년 8월), p. 54-61 28:8<54 상세보기 ISSN 1016-135X
저자: 배영호, 정회원, 산업과학기술연구소 정보전자
저자: 권영규, 정회원, 산업과학기술연구소 정보전자
저자: 김광일, 정회원, 산업과학기술연구소 정보전자
저자: 정욱진, 정회원, 산업과학기술연구소 정보전자
저자: 조찬섭, 정회원, 경북대학교 전자공학과
저자: 이종현, 정회원, 경북대학교 전자공학과
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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