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단결정 실리콘 microactuator 구조의 제작 = Fabrication of single-crystal silicon microactuator structures
표제/저자사항 단결정 실리콘 microactuator 구조의 제작 = Fabrication of single-crystal silicon microactuator structures / 조찬섭, 류인식, 신장규
형태사항 p. 165-174: 삽도; 26 cm
주기사항 수록자료: 電子技術硏究誌. 慶北大學校 出版部. 13권(1992년), p. 165-174 13<165 상세보기 ISSN 1225-214X
저자: 조찬섭, 경북대학교 대학원 전자공학과 박사과정
저자: 류인식, 경동전문대학 전자계산과 전임강사
저자: 신장규, 경북대학교 전자공학과 조교수
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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