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스핀 코터 성능향상을 위한 모델링 및 민감도 해석 = Modelling and sensitifity analysis for the performance improvement of a spin coater
표제/저자사항
스핀 코터 성능향상을 위한 모델링 및 민감도 해석 = Modelling and sensitifity analysis for the performance improvement of a spin coater / 권태종, 채호철, 한창수, 정진태, 안강호
형태사항
p. 96-102: 삽도; 26 cm
주기사항
수록자료: 한국공작기계학회지. 韓國工作機械學會. 9권 6호(2000년 12월), p. 96-102 9:6<96 상세보기 ISSN 1226-8097
저자: 권태종, 삼성전자(주) 반도체 AMLCD 사업부
저자: 채호철, 한양대학교 대학원
저자: 한창수, 한양대학교 기계공학과
저자: 정진태, 한양대학교 기계공학과
저자: 안강호, 한양대학교 기계공학과
저자: 권태종, 삼성전자(주) 반도체 AMLCD 사업부
저자: 채호철, 한양대학교 대학원
저자: 한창수, 한양대학교 기계공학과
저자: 정진태, 한양대학교 기계공학과
저자: 안강호, 한양대학교 기계공학과
출처
국립중앙도서관 바로가기
MARC 보기
001KMO201509136
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008150107s2001 gak 100 kor
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24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
710 ▼a한국생명윤리학회
710 ▼a토지문화관
9501 ▼a가격불명
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
