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실리콘 에피층 성장과 실리콘 에칭기술을 이용한 bare chip burn-in 테스트용 인터컨넥션 시스템의 제조공정 = Fabrication processes of interconnection systems for bare chip burn-in tests using epitaxial layer growth and etching techniques of silicon
표제/저자사항
실리콘 에피층 성장과 실리콘 에칭기술을 이용한 bare chip burn-in 테스트용 인터컨넥션 시스템의 제조공정 = Fabrication processes of interconnection systems for bare chip burn-in tests using epitaxial layer growth and etching techniques of silicon / 권오경, 김준배
형태사항
p. 174-181; 26 cm
주기사항
수록자료: 한국표면공학회지. 한국표면공학회. 28권 3호(1995년 6월), p. 174-181 28:3<174 상세보기 ISSN 1225-8024
저자: 권오경, 한양대학교 공과대학 전자공학과
저자: 김준배, 한양대학교 공과대학 전자공학과
저자: 권오경, 한양대학교 공과대학 전자공학과
저자: 김준배, 한양대학교 공과대학 전자공학과
출처
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001KMO201509136
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24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
710 ▼a한국생명윤리학회
710 ▼a토지문화관
9501 ▼a가격불명
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
