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차세대 반도체 세정장비용 스마트 제어기 설계 = Design of smart controller for new generation semiconductor wet station
표제/저자사항 차세대 반도체 세정장비용 스마트 제어기 설계 = Design of smart controller for new generation semiconductor wet station / 홍광진, 백승원, 조현찬, 김광선, 김두용, 조중근
형태사항 p. 149-152; 30 cm
주기사항 수록자료: 학술대회 학술발표논문집-한국퍼지 및 지능시스템학회. 한국퍼지 및 지능시스템학회. 14권 1호(2004년 춘계), p. 149-152 14:1<149 상세보기
저자: 홍광진, 한국기술교육대학교
저자: 백승원, 한국기술교육대학교
저자: 조현찬, 한국기술교육대학교
저자: 김광선, 한국기술교육대학교
저자: 김두용, 순천향대학교
저자: 조중근, (주) 한국 DNS
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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