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반응표면분석을 통한 SU-8 포토레지스트의 특성 및 최적화 = Statistical characterization and optimization of SU-8 photoresist processing by response surface methodology
표제/저자사항
반응표면분석을 통한 SU-8 포토레지스트의 특성 및 최적화 = Statistical characterization and optimization of SU-8 photoresist processing by response surface methodology / 李晟準, 文世泳, 朴宰賢, 洪尙眞
형태사항
p. 82-85 ; 27 cm
주기사항
수록자료: 産業技術硏究所論文集. 명지대학교 산업기술연구소. 25집(2006), p. 82-85 25<82 상세보기
저자: 이성준, 석사, 명지대 공대 전자공학과 석사과정
저자: 문세영, 학사, 명지대 공대 전자공학과 학사과정
저자: 박재현, 교수, 명지대 공대 전자공학과 교수
저자: 홍상진, 교수, 명지대 공대 전자공학과 교수
저자: 이성준, 석사, 명지대 공대 전자공학과 석사과정
저자: 문세영, 학사, 명지대 공대 전자공학과 학사과정
저자: 박재현, 교수, 명지대 공대 전자공학과 교수
저자: 홍상진, 교수, 명지대 공대 전자공학과 교수
출처
국립중앙도서관 바로가기
MARC 보기
001KMO201509136
00520150303111639
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008150107s2001 gak 100 kor
0490 ▼lEM6076783▼lEM6076784▼c2▼fSY
05201▼a470▼b15-3
056 ▼a470▼26
08201▼a570▼223
24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
710 ▼a한국생명윤리학회
710 ▼a토지문화관
9501 ▼a가격불명
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
