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강유전체의 하부전극용 Pt / Ti 박막의 필 접착력에 미치는 열처리의 영향 = (The)effect of thermal treatments on the peel adhesion strength of Pt / Ti thin film for a bottom electrode of ferroelectric materials
표제/저자사항 강유전체의 하부전극용 Pt / Ti 박막의 필 접착력에 미치는 열처리의 영향 = (The)effect of thermal treatments on the peel adhesion strength of Pt / Ti thin film for a bottom electrode of ferroelectric materials / 이태곤, 김영호, 최덕균, 권오경
형태사항 p. 610-617 ; 30 cm
주기사항 수록자료: 한국재료학회지. 韓國材料學會. 6권 6호(1996년 6월), p. 610-617 6:6<610 ISSN 1225-0562
저자: 이태곤, 한양대학교 재료공학과
저자: 김영호, 한양대학교 재료공학과
저자: 최덕균, 한양대학교 무기재료공학과
저자: 권오경, 한양대학교 전자공학과
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담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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