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유연기구를 이용한 초정밀 단일체 3축 스테이지의 모델링 및 최적설계에 관한 연구 = Modeling and optimal design of monolithic precision XYZ-stage using flexure mechanism
표제/저자사항 유연기구를 이용한 초정밀 단일체 3축 스테이지의 모델링 및 최적설계에 관한 연구 = Modeling and optimal design of monolithic precision XYZ-stage using flexure mechanism / 심종엽, 권대갑
형태사항 p. 868-878 ; 26 cm
주기사항 수록자료: 대한기계학회논문집. 대한기계학회. 22권 4호(1998년 4월), p. 868-878 22:4<868 상세보기 ISSN 1226-4873
저자: 심종엽, 한국과학기술원 기계공학과
저자: 권대갑, 회원, 한국과학기술원 기계공학과
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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