학위논문
多孔質 실리콘을 利用한 마이크로 머시닝과 加速度센서의 製造 = Micromachining using porous silicon and fabrication of acceleration sensor
표제/저자사항 多孔質 실리콘을 利用한 마이크로 머시닝과 加速度센서의 製造 = Micromachining using porous silicon and fabrication of acceleration sensor / 曺贊燮
발행사항 대구: 慶北大學校, 1994
형태사항 141p.: 삽도,도판; 26cm
주기사항 학위논문(박사) -- 경북대학교 대학원: 전자공학과 반도체공학전공, 1994
분류기호 한국십진분류법-> 569.8듀이십진분류법-> 621.38171
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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