01208na a2200277 4500001001300000005001500013008004100028024002700069035001800096035002700114035002700141035002700168100002200195370004800217372005300265373006500318373007000383373006800453374004800521375001100569377002200580400002700602670017600629670005400805670007100859KAC20182956720210825093010180516 b aznnnaabn fa aaa 7 a000000046490659X2isni a(KRI)10115599 a(KISTI)ADPER6801937673 a(KISTI)ADPER6800762932 a(KISTI)ADPER00001371761 a홍상진,d1971- c한국(국명)[韓國]0KSH20000101452nlsh a전자 공학[電子工學]0KSH19980184202nlsh a미국 Georgia Tech 연구원 (연구조교)s199908t200403 a동북대학교 유체과학연구소 (연구원)s200404t200408 a명지대학교 공과대학 전자공학과 (교수)s20040901 a교수(대학)[敎授]0KSH19980114932nlsh a남성 l한국어l영어1 aHong, Sangjeen,d1971- a통계적 실험계획법을 이용한 HDP-CVD로 증착된 실리콘 산화막 공정조건 최적화에 관한 연구, (한국반도체디스플레이기술학회), 2006 a한국연구자정보(KRI)uhttps://www.kri.go.kr a한국과학기술정보연구원(KISTI)uhttps://www.kisti.re.kr/