000  $anz n  2
000  $a주제어
001  $aKSH1998009987
005  $a20021022000510
008  $a980429 n azknnaabn          |a a|a    | 
150  $a실리콘 반도체[--半導體]
450  $a규소 반도체[硅素半導體]
450  $wr$i영어$asilicon semiconductor
550  $wg$a반도체[半導體]
550  $a규소[硅素]
550  $a다결정 실리콘 박막[多結晶--薄膜]