00000nz a2200000n 4500 001 KSH1998030025 005 20031008011602 008 980429 n azknn|abn |a a|a | 150 ▼a분자 전자 공학[分子電子工學]▲ 550 ▼a극소 미품화[極小微品化]▲ 550 ▼a마이크로 머신[micromachine]▲ 550 ▼a마이크로 모듈[micromodule]▲ 550 ▼a마이크로 일렉트로닉스[microeletronics]▲ 550 ▼a박막[薄膜]▲ 550 ▼a소형 전자 장치[小型電子裝置]▲