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주영희 사진 없음
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주영희(周永憙)
KAC201862491
생몰년 1986-
출생지-
직업연구원
ISNI 0000 0004 6788 4584
관련지역한국
관련언어한국어
관련단체 중앙대학교 전자전기공학부
다른이름Joo, Younghee;Joo, Young-Hee

마지막 수정일 : 2020-06-10

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발행년도 (1)
2011-2020(3)
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기술과학(3)
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언어 (1)
Korean(3)
저자 작품
번호 제목 저자 발행년도 발행처
창작물
번호 1
제목 유도 결합 플라즈마를 이용한 TaN 박막의 건식 식각 특성 = The etiching characteristics of the TaN thin films using inductively coupled plasma
저자 진려 주영희[1986-] 우종창 김한수 최경록 김창일
발행년도 20130101
발행처 서울 : 한국전기전자재료학회, 20130101
번호 2
제목 고밀도 플라즈마를 이용한 SnO<sub>2</sub> 박막의 건식 식각 특성 = A study on etching characteristics of SnO<sub>2</sub> thin films using high density plasma
저자 김환준 주영희[1986-] 김승한 우종창 김창일
발행년도 20131101
발행처 서울 : 한국전기전자재료학회, 20131101
번호 3
제목 BC1<sub>3</sub>/Ar 유도결합 플라즈마 안에 CH<sub>4</sub> 가스 첨가에 따른 건식 식각된 TaN 박막 표면의 연구 = A study on the surface of the dry etched TaN thin film by adding the CH<sub>4</sub> gas in BC1<sub>3</sub>/Ar inductively coupled plasma
저자 우종창[1978-] 최창억 양우석 주영희[1986-] 강필승 전윤수 김창일
발행년도 20130501
발행처 서울 : 한국전기전자재료학회, 20130501
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