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RF 스퍼터링법에 의한 (S
RF 스퍼터링법에 의한 (S$$r_{1-x}$$< / TEX>C$$a_x$$< / TEX>)TiO₃ 세라믹 박막의 미세구조 및 유전특성 = Microstructure and dielectric properties of (S$$r_{1-x}$$< / TEX>C$$a_x$$< / TEX>)TiO₃ ceramic thin film by RF sputtering method
표제/저자사항
RF 스퍼터링법에 의한 (S$$r_{1-x}$$< / TEX>C$$a_x$$< / TEX>)TiO₃ 세라믹 박막의 미세구조 및 유전특성 = Microstructure and dielectric properties of (S$$r_{1-x}$$< / TEX>C$$a_x$$< / TEX>)TiO₃ ceramic thin film by RF sputtering method / 김진사, 오재한, 이준웅
형태사항
p. 984-989: 삽도; 26 cm
주기사항
수록자료: 전기전자재료학회논문지. 한국전기전자재료학회. Vol.11 no.11(1998년 11월), p. 984-989 11:11<984 상세보기 ISSN 1226-7945
저자: 김진사, 광운대학교 공대 전기공학과 E-MAIL: Joonung@daisy.kwangwoon.ac.kr
저자: 오재한, 성화대학 전기과
저자: 이준웅, 광운대학교 공대 전기공학과
저자: 김진사, 광운대학교 공대 전기공학과 E-MAIL: Joonung@daisy.kwangwoon.ac.kr
저자: 오재한, 성화대학 전기과
저자: 이준웅, 광운대학교 공대 전기공학과
출처
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MARC 보기
001KMO201509136
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24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
710 ▼a한국생명윤리학회
710 ▼a토지문화관
9501 ▼a가격불명
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)