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Low-K parylene 박막 증착 및 특성에 대한 연구 = (A)study on deposition and characterization of low-k parylene film
표제/저자사항
Low-K parylene 박막 증착 및 특성에 대한 연구 = (A)study on deposition and characterization of low-k parylene film / 허현, 서주원, 김민수, 반재경
형태사항
p. 326-332: 삽도; 26 cm
주기사항
수록자료: 전기전자재료학회논문지. 한국전기전자재료학회. Vol.12 no.4(1999년 4월), p. 326-332 12:4<326 상세보기 ISSN 1226-7945
저자: 허현, 순천청암대학 정보통신과
저자: 서주원, 전북대학교 전자·정보공학부
저자: 김민수, 전북대학교 전자·정보공학부
저자: 반재경, 전북대학교 전자·정보공학부
저자: 허현, 순천청암대학 정보통신과
저자: 서주원, 전북대학교 전자·정보공학부
저자: 김민수, 전북대학교 전자·정보공학부
저자: 반재경, 전북대학교 전자·정보공학부
출처
국립중앙도서관 바로가기
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24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
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9501 ▼a가격불명
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
