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3 MeV $$ P^+$$< / TEX>이온주입된 실리콘의 열처리에 따른 X-ray Rocking Curve 분석 = X-ray rocking curve analysis of post-annealed 3 MeV $$ P^+$$< / TEX> implanted silicon
표제/저자사항 3 MeV $$ P^+$$< / TEX>이온주입된 실리콘의 열처리에 따른 X-ray Rocking Curve 분석 = X-ray rocking curve analysis of post-annealed 3 MeV $$ P^+$$< / TEX> implanted silicon / 조남훈, 장기완, 김창수, 이정용, 노재상
형태사항 p. 109-117: 삽도; 26 cm
주기사항 수록자료: 韓國眞空學會誌. 韓國眞空學會. 4권 1호(1995년 3월), p. 109-117 4:1<109 상세보기 ISSN 1225-8822
저자: 조남훈, 홍익대학교 금속·재료공학과
저자: 장기완, 한국과학기술원 전자재료공학과
저자: 김창수, 한국표준과학연구원
저자: 이정용, 한국과학기술원
저자: 노재상, 홍익대학교 금속·재료공학과
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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