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Analysis of fast pressure control by the Ziegler-Nichols method for a transport module of a high vacuum cluster tool = 고진공 클러스터 장비의 반송모듈에 적용된 Ziegler-Nichols 방법에 의한 고속 압력제어에 관한 해석
표제/저자사항
Analysis of fast pressure control by the Ziegler-Nichols method for a transport module of a high vacuum cluster tool = 고진공 클러스터 장비의 반송모듈에 적용된 Ziegler-Nichols 방법에 의한 고속 압력제어에 관한 해석 / 장원익, 이종현, 백종태
형태사항
p. 284-291: 삽도; 26 cm
주기사항
수록자료: 韓國眞空學會誌. 韓國眞空學會. 5권 4호(1996년 12월), p. 284-291 5:4<284 상세보기 ISSN 1225-8822
저자: 장원익, 한국전자통신연구소 반도체연구단
저자: 이종현, 한국전자통신연구소 반도체연구단
저자: 백종태, 한국전자통신연구소 반도체연구단
저자: 장원익, 한국전자통신연구소 반도체연구단
저자: 이종현, 한국전자통신연구소 반도체연구단
저자: 백종태, 한국전자통신연구소 반도체연구단
출처
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24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
710 ▼a한국생명윤리학회
710 ▼a토지문화관
9501 ▼a가격불명
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
