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Analysis of fast pressure control by the Ziegler-Nichols method for a transport module of a high vacuum cluster tool = 고진공 클러스터 장비의 반송모듈에 적용된 Ziegler-Nichols 방법에 의한 고속 압력제어에 관한 해석
표제/저자사항 Analysis of fast pressure control by the Ziegler-Nichols method for a transport module of a high vacuum cluster tool = 고진공 클러스터 장비의 반송모듈에 적용된 Ziegler-Nichols 방법에 의한 고속 압력제어에 관한 해석 / 장원익, 이종현, 백종태
형태사항 p. 284-291: 삽도; 26 cm
주기사항 수록자료: 韓國眞空學會誌. 韓國眞空學會. 5권 4호(1996년 12월), p. 284-291 5:4<284 상세보기 ISSN 1225-8822
저자: 장원익, 한국전자통신연구소 반도체연구단
저자: 이종현, 한국전자통신연구소 반도체연구단
저자: 백종태, 한국전자통신연구소 반도체연구단
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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