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스퍼터링 방법에 의한 AIN / Si(111)의 성장 방향과 표면 거칠기의 성장 시간에 대한 연구 = Evolution of growth orientation and surface roughness during sputter growth of AIN / Si(111)
표제/저자사항 스퍼터링 방법에 의한 AIN / Si(111)의 성장 방향과 표면 거칠기의 성장 시간에 대한 연구 = Evolution of growth orientation and surface roughness during sputter growth of AIN / Si(111) / 이민수, 이현휘, 서선희, 노도영
형태사항 p. 237-241: 삽도; 26 cm
주기사항 수록자료: 韓國眞空學會誌. 韓國眞空學會. 7권 3호(1998년 8월), p. 237-241 7:3<237 상세보기 ISSN 1225-8822
저자: 이민수, 광주과학기술원 신소재공학과 및 전자재료연구센터
저자: 이현휘, 광주과학기술원 신소재공학과 및 전자재료연구센터
저자: 서선희, 광주과학기술원 신소재공학과 및 전자재료연구센터
저자: 노도영, 광주과학기술원 신소재공학과 및 전자재료연구센터
출처 국립중앙도서관 바로가기
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001KMO201509136
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05201▼a470▼b15-3
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08201▼a570▼223
24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
710 ▼a한국생명윤리학회
710 ▼a토지문화관
9501 ▼a가격불명
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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