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열처리에 따른 Y₂O₃박막의 미세 구조 변화와 전기적 특성 변화에 대한 고찰 = (The)evolution of microstructures and electrical properties of Y₂O₃thin films on Si(100) upon annealing treatments
표제/저자사항 열처리에 따른 Y₂O₃박막의 미세 구조 변화와 전기적 특성 변화에 대한 고찰 = (The)evolution of microstructures and electrical properties of Y₂O₃thin films on Si(100) upon annealing treatments / 정윤하, 강성관, 김은하, 고대홍, 조만호, 황정남
형태사항 p. 218-223: 삽도; 26 cm
주기사항 수록자료: 韓國眞空學會誌. 韓國眞空學會. 8권 3(1)호(1999년 8월), p. 218-223 8:3(1)<218 상세보기 ISSN 1225-8822
저자: 정윤하, 연세대학교 세라믹공학과
저자: 강성관, 연세대학교 세라믹공학과
저자: 김은하, 연세대학교 세라믹공학과
저자: 고대홍, 연세대학교 세라믹공학과
저자: 조만호, 연세대학교 물리학과
저자: 황정남, 연세대학교 물리학과
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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