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Co / Si 시스템에서 capping layer에 따른 코발트 실리사이드 박막의 형성에 관한 연구 = (A)study on the formation of cobalt silicide thin films in Co / Si systems with different capping layers
표제/저자사항
Co / Si 시스템에서 capping layer에 따른 코발트 실리사이드 박막의 형성에 관한 연구 = (A)study on the formation of cobalt silicide thin films in Co / Si systems with different capping layers / 김해영, 김상연, 고대홍, 최철준, 김철성, 구자흠, 최시영, Kazuyuki Fujihara강호규
형태사항
p. 335-340: 삽도; 26 cm
주기사항
수록자료: 韓國眞空學會誌. 韓國眞空學會. 9권 4호(2000년 12월), p. 335-340 9:4<335 상세보기 ISSN 1225-8822
저자: 김해영, 연세대학교 세라믹공학과
저자: 김상연, 연세대학교 세라믹공학과
저자: 고대홍, 연세대학교 세라믹공학과
저자: 최철준, 삼성전자 반도체연구소
저자: 김철성, 삼성전자 반도체연구소
저자: 구자흠, 삼성전자 반도체연구소
저자: 최시영, 삼성전자 반도체연구소
저자: Kazuyuki Fujihara, 삼성전자 반도체연구소
저자: 강호규, 삼성전자 반도체연구소
저자: 김해영, 연세대학교 세라믹공학과
저자: 김상연, 연세대학교 세라믹공학과
저자: 고대홍, 연세대학교 세라믹공학과
저자: 최철준, 삼성전자 반도체연구소
저자: 김철성, 삼성전자 반도체연구소
저자: 구자흠, 삼성전자 반도체연구소
저자: 최시영, 삼성전자 반도체연구소
저자: Kazuyuki Fujihara, 삼성전자 반도체연구소
저자: 강호규, 삼성전자 반도체연구소
출처
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001KMO201509136
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24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
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710 ▼a토지문화관
9501 ▼a가격불명
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
