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RF / DC 방전을 이용한 고 진공용SUS 용기세정에 관한 연구 = (A)study on the RE / DC discharge cleaning for high vacuum SUS chamber
표제/저자사항
RF / DC 방전을 이용한 고 진공용SUS 용기세정에 관한 연구 = (A)study on the RE / DC discharge cleaning for high vacuum SUS chamber / 김정형, 임종연, 서인용, 정광화
형태사항
p. 298-302: 삽도; 26 cm
주기사항
수록자료: 韓國眞空學會誌. 韓國眞空學會. 10권 3호(2001년 10월), p. 298-302 10:3<298 상세보기 ISSN 1225-8822
저자: 김정형, 한국표준과학연구원 진공기술센터
저자: 임종연, 한국표준과학연구원 진공기술센터
저자: 서인용, 한국표준과학연구원 진공기술센터
저자: 정광화, 한국표준과학연구원 진공기술센터
저자: 김정형, 한국표준과학연구원 진공기술센터
저자: 임종연, 한국표준과학연구원 진공기술센터
저자: 서인용, 한국표준과학연구원 진공기술센터
저자: 정광화, 한국표준과학연구원 진공기술센터
출처
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MARC 보기
001KMO201509136
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24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
710 ▼a한국생명윤리학회
710 ▼a토지문화관
9501 ▼a가격불명
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
