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증착조건에 따른 극미세 다이아몬드상 카본 박막의 탄성률 변화거동 = (A)variation of elastic modulus of very thin diamond-like carbon films with deposition condition
표제/저자사항 증착조건에 따른 극미세 다이아몬드상 카본 박막의 탄성률 변화거동 = (A)variation of elastic modulus of very thin diamond-like carbon films with deposition condition / 정진원, 이광렬, 은광용, 고대홍
형태사항 p. 387-395: 삽도; 26 cm
주기사항 수록자료: 韓國眞空學會誌. 韓國眞空學會. 10권 4호(2001년 12월), p. 387-395 10:4<387 상세보기 ISSN 1225-8822
저자: 정진원, 연세대학교 세라믹공학과
저자: 이광렬, 한국과학기술연구원 미래기술연구본부
저자: 은광용, 한국과학기술연구원 박막기술연구센타
저자: 고대홍, 연세대학교 세라믹공학과
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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