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고주파 스퍼터타입 이온소스를 이용한 비질량분리형 이온빔증착법에 관한 특성연구 = Fundamental characteristics of non-mass separated ion beam deposition with RE sputter-type ion source
표제/저자사항 고주파 스퍼터타입 이온소스를 이용한 비질량분리형 이온빔증착법에 관한 특성연구 = Fundamental characteristics of non-mass separated ion beam deposition with RE sputter-type ion source / 임재원, Minoru Isshiki
형태사항 p. 136-143: 삽도; 26 cm
주기사항 수록자료: 韓國眞空學會誌. 韓國眞空學會. 12권 2호(2003년 6월), p. 136-143 12:2<136 상세보기 ISSN 1225-8822
저자: 임재원, 동북대학 다원물질과학연구소 E-MAIL: E-mail: flashlim@mail.tagen.tohoku.ac.jp
저자: Minoru, Isshiki, 동북대학 다원물질과학연구소
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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