국가전거
저자 전거 검색
기사
CF₄ / O₂ 식각 가스계를 사용한 텅스텐 박막의 건식 식각 연구 = Dry etching of tungsten films in CF₄ / O₂ gas system
표제/저자사항
CF₄ / O₂ 식각 가스계를 사용한 텅스텐 박막의 건식 식각 연구 = Dry etching of tungsten films in CF₄ / O₂ gas system / 권성구, 남철우, 우성일
형태사항
p. 675-682: 삽도; 29 cm
주기사항
수록자료: 화학공학. 한국화학공학회. 31권 6호(1993년 12월), p. 675-682 31:6<667 상세보기 ISSN 0304-128X
저자: 권성구, Hyundai Electronics Industries Co., Ltd., Semiconductor Research ＆ Development Lab.
저자: 남철우, 한국과학기술원 화학공학과
저자: 우성일, 한국과학기술원 화학공학과
저자: 권성구, Hyundai Electronics Industries Co., Ltd., Semiconductor Research ＆ Development Lab.
저자: 남철우, 한국과학기술원 화학공학과
저자: 우성일, 한국과학기술원 화학공학과
출처
국립중앙도서관 바로가기
MARC 보기
001KMO201509136
00520150303111639
007ta
008150107s2001 gak 100 kor
0490 ▼lEM6076783▼lEM6076784▼c2▼fSY
05201▼a470▼b15-3
056 ▼a470▼26
08201▼a570▼223
24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
710 ▼a한국생명윤리학회
710 ▼a토지문화관
9501 ▼a가격불명
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
