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ESCA를 이용한 웨이퍼의 세정도 측정 = Measurement of cleanliness of wafer by ESCA
표제/저자사항
ESCA를 이용한 웨이퍼의 세정도 측정 = Measurement of cleanliness of wafer by ESCA / 이광진, 정용안, 노경호
형태사항
p. 715-720: 삽도; 29 cm
주기사항
수록자료: 화학공학. 한국화학공학회. 39권 6호(2001년 12월), p. 715-720 39:6<715 상세보기 ISSN 0304-128X
저자: 이광진, 인하대학교 화학공학과
저자: 정용안, 한국기기유화시험연구원 연구개발팀
저자: 노경호, 인하대학교 화학공학과 E-MAIL: rowkho@inha.ac.kr
저자: 이광진, 인하대학교 화학공학과
저자: 정용안, 한국기기유화시험연구원 연구개발팀
저자: 노경호, 인하대학교 화학공학과 E-MAIL: rowkho@inha.ac.kr
출처
국립중앙도서관 바로가기
MARC 보기
001KMO201509136
00520150303111639
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008150107s2001 gak 100 kor
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24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
710 ▼a한국생명윤리학회
710 ▼a토지문화관
9501 ▼a가격불명
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
