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실리콘 단결정에서 산화적층결함의 핵생성에 미치는 냉각속도의 영향 = (The)effect of cooling rate on the nuclei of OISF formation in Si single crystals
표제/저자사항 실리콘 단결정에서 산화적층결함의 핵생성에 미치는 냉각속도의 영향 = (The)effect of cooling rate on the nuclei of OISF formation in Si single crystals / 하태석, 김병국, 김영관, 윤종규
형태사항 p. 360-367; 29 cm
주기사항 수록자료: Journal of the Korean crystal growth and crystal technology. 韓國結晶成長學會. 6권 3호(1996년 8월), p. 360-367 6:3<360 상세보기 ISSN 1225-1429
저자: 하태석, 서울대학교 금속공학과
저자: 김병국, 서울대학교 금속공학과
저자: 김영관, 인천대학교 재료공학과
저자: 윤종규, 서울대학교 금속공학과
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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