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LPCVD법으로 증착된 비정질 씰리콘 박막의 저온 열처리 및 이온주입이 고상결정화에 미치는 효과에 관한 연구 = (A)study on the effect of low temperature anneal and ion implantation on crystallization of amorphous silicon film grown by LPCVD
표제/저자사항
LPCVD법으로 증착된 비정질 씰리콘 박막의 저온 열처리 및 이온주입이 고상결정화에 미치는 효과에 관한 연구 = (A)study on the effect of low temperature anneal and ion implantation on crystallization of amorphous silicon film grown by LPCVD / 최진호, 노재상
형태사항
p. 841-879; 26 cm
주기사항
수록자료: 科學技術硏究 論文集-弘益大學校. 弘益大學校 出版部. 제5집(1995년 2월), p. 841-879 5<841 상세보기
저자: 최진호, 현대 중공업 중앙 연구소 연구원
저자: 노재상, 공과대학 금속·재료 공학과 조교수
저자: 최진호, 현대 중공업 중앙 연구소 연구원
저자: 노재상, 공과대학 금속·재료 공학과 조교수
출처
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MARC 보기
001KMO201509136
00520150303111639
007ta
008150107s2001 gak 100 kor
0490 ▼lEM6076783▼lEM6076784▼c2▼fSY
05201▼a470▼b15-3
056 ▼a470▼26
08201▼a570▼223
24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
710 ▼a한국생명윤리학회
710 ▼a토지문화관
9501 ▼a가격불명
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
