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Device wafer의 종점 전후에 있어서 광역평탄화 특성에 관한 연구 = (A)study on the global planarization characteristics in end point stage for device wafers
표제/저자사항
Device wafer의 종점 전후에 있어서 광역평탄화 특성에 관한 연구 = (A)study on the global planarization characteristics in end point stage for device wafers / 정해도, 김호윤
형태사항
p. 117-123; 26 cm
주기사항
수록자료: 生産技術硏究所 論文集. 釜山大學校 生産技術硏究所. 제51집(1996년 12월), p. 117-123 51<117 상세보기 ISSN 1225-8849
저자: 정해도, 부산대학교 공과대학 기계공학과 전임강사
저자: 김호윤, 부산대학교 일반대학원 기계공학과 석사과정
저자: 정해도, 부산대학교 공과대학 기계공학과 전임강사
저자: 김호윤, 부산대학교 일반대학원 기계공학과 석사과정
출처
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MARC 보기
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24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
710 ▼a한국생명윤리학회
710 ▼a토지문화관
9501 ▼a가격불명
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
