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Megasonic wave를 이용한 실리콘 이방성 습식 식각의 특성 개선 = (The)improved characteristics of wet anisotropic etching of Si with megasonic wave
표제/저자사항
Megasonic wave를 이용한 실리콘 이방성 습식 식각의 특성 개선 = (The)improved characteristics of wet anisotropic etching of Si with megasonic wave / 제우성, 석창길
형태사항
p. 81-86; 26 cm
주기사항
수록자료: 마이크로전자 및 패키징학회지. 한국마이크로전자 및 패키징학회. 11권 4호(2004년 12월), p. 81-86 11:4<81 상세보기 ISSN 1226-9360
저자: 제우성, 동명정보대학교, 메카트로닉스 공학과 E-MAIL: wsche@tit.ac.kr
저자: 석창길, (주) 울텍
저자: 제우성, 동명정보대학교, 메카트로닉스 공학과 E-MAIL: wsche@tit.ac.kr
저자: 석창길, (주) 울텍
출처
국립중앙도서관 바로가기
MARC 보기
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24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
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300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
710 ▼a한국생명윤리학회
710 ▼a토지문화관
9501 ▼a가격불명
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
