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FBAR 필터 응용을 위한 A1 하부전극 상에서 ZnO 박막 증착 및 온도가 ZnO 결정의 성장에 미치는 영향 = ZnO film deposition on aluminum bottom electrode for FBAR filter applications and effects of deposition temperature on ZnO crystal growth
표제/저자사항
FBAR 필터 응용을 위한 A1 하부전극 상에서 ZnO 박막 증착 및 온도가 ZnO 결정의 성장에 미치는 영향 = ZnO film deposition on aluminum bottom electrode for FBAR filter applications and effects of deposition temperature on ZnO crystal growth / 윤기완, 임문혁, 채동규, Mai Linh
형태사항
p. 255-262; 26 cm
주기사항
수록자료: 한국해양정보통신학회논문지. 한국해양정보통신학회. Vol.7 No.2(2003년 4월), p. 255-262 7:2<255 상세보기 ISSN 1226-6981
저자: 윤기완, 한국정보통신대학교
저자: 임문혁, 한국정보통신대학교
저자: 채동규, 한국정보통신대학교
저자: Mai Linh, 한국정보통신대학교
저자: 윤기완, 한국정보통신대학교
저자: 임문혁, 한국정보통신대학교
저자: 채동규, 한국정보통신대학교
저자: Mai Linh, 한국정보통신대학교
출처
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001KMO201509136
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24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
710 ▼a한국생명윤리학회
710 ▼a토지문화관
9501 ▼a가격불명
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
