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이차이온 질량분석기를 이용한 탄탈 박막내의 불순물 분석 = Impurity analysis of Ta films using secondary ion mass spectrometry
표제/저자사항
이차이온 질량분석기를 이용한 탄탈 박막내의 불순물 분석 = Impurity analysis of Ta films using secondary ion mass spectrometry / 임재원, 배준우, Minoru Isshiki
형태사항
p. 22-28; 26 cm
주기사항
수록자료: 한국진공학회지. 韓國眞空學會. 13권 1호(2004년 3월), p. 22-28 13:1<22 상세보기 ISSN 1225-8822
저자: 임재원, 동북대학 다원물질과학연구소 E-MAIL: flashlim@mail.tagen.tohoku.ac.jp
저자: 배준우, 동북대학 다원물질과학연구소
저자: Minoru Isshiki, 동북대학 다원물질과학연구소
저자: 임재원, 동북대학 다원물질과학연구소 E-MAIL: flashlim@mail.tagen.tohoku.ac.jp
저자: 배준우, 동북대학 다원물질과학연구소
저자: Minoru Isshiki, 동북대학 다원물질과학연구소
출처
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001KMO201509136
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24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
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9501 ▼a가격불명
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
