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SIMS와 GDMS를 이용한 구리와 탄탈 박막내의 주요불순물 분석 = Analysis of dominant impurities in Cu and Ta films using SIMS and GDMS
표제/저자사항
SIMS와 GDMS를 이용한 구리와 탄탈 박막내의 주요불순물 분석 = Analysis of dominant impurities in Cu and Ta films using SIMS and GDMS / 임재원, Minoru Isshiki
형태사항
p. 79-85; 26 cm
주기사항
수록자료: 한국진공학회지. 韓國眞空學會. 13권 2호(2004년 6월), p. 79-85 13:2<79 상세보기 ISSN 1225-8822
저자: 임재원, 동북대학 다원물질과학연구소 E-MAIL: flashlim@mail.tagen.tohoku.ac.jp
저자: Minoru Isshiki, 동북대학 다원물질과학연구소
저자: 임재원, 동북대학 다원물질과학연구소 E-MAIL: flashlim@mail.tagen.tohoku.ac.jp
저자: Minoru Isshiki, 동북대학 다원물질과학연구소
출처
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MARC 보기
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24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
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500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
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담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
