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비질량분리형 이온빔증착법에 의한 ULSI 금속배선용 구리박막에 관한 특성연구 = Fundamental study of Cu thin films for ULSI metallization by non-mass separated ion beam deposition method
표제/저자사항
비질량분리형 이온빔증착법에 의한 ULSI 금속배선용 구리박막에 관한 특성연구 = Fundamental study of Cu thin films for ULSI metallization by non-mass separated ion beam deposition method / 임재원, Minoru Isshiki
형태사항
p. 525-530; 30 cm
주기사항
수록자료: 대한금속·재료학회지. 대한금속.재료학회. 41권 8호(2003년 8월), p. 525-530 41:8<525 상세보기 ISSN 1738-8228
저자: 임재원, 동북대학 다원물질과학연구소
저자: Minoru Isshiki, 동북대학 다원물질과학연구소
저자: 임재원, 동북대학 다원물질과학연구소
저자: Minoru Isshiki, 동북대학 다원물질과학연구소
출처
국립중앙도서관 바로가기
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001KMO201509136
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24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
710 ▼a한국생명윤리학회
710 ▼a토지문화관
9501 ▼a가격불명
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
