국가전거
저자 전거 검색
기사
기판 바이어스에 의한 구리 seed layer의 특성 향상 = Improvement of Cu seed layer properties by applying substrate bias voltage
표제/저자사항
기판 바이어스에 의한 구리 seed layer의 특성 향상 = Improvement of Cu seed layer properties by applying substrate bias voltage / 임재원, Minoru Isshiki
형태사항
p. 212-217; 30 cm
주기사항
수록자료: 대한금속·재료학회지. 대한금속.재료학회. 42권 2호(2004년 2월), p. 212-217 42:2<212 상세보기 ISSN 1738-8228
저자: 임재원, 동북대학 다원물질과학연구소 E-MAIL: flashlim@mail.tagen.tohoku.ac.jp
저자: Minoru Isshiki, 동북대학 다원물질과학연구소
저자: 임재원, 동북대학 다원물질과학연구소 E-MAIL: flashlim@mail.tagen.tohoku.ac.jp
저자: Minoru Isshiki, 동북대학 다원물질과학연구소
출처
국립중앙도서관 바로가기
MARC 보기
001KMO201509136
00520150303111639
007ta
008150107s2001 gak 100 kor
0490 ▼lEM6076783▼lEM6076784▼c2▼fSY
05201▼a470▼b15-3
056 ▼a470▼26
08201▼a570▼223
24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
710 ▼a한국생명윤리학회
710 ▼a토지문화관
9501 ▼a가격불명
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
