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웨이퍼 스텝퍼의 정렬정확도 측정에 관한 연구 = Measurement methodology for the alignment accuracy of wafer stepper
표제/저자사항 웨이퍼 스텝퍼의 정렬정확도 측정에 관한 연구 = Measurement methodology for the alignment accuracy of wafer stepper / 이종현, 장원익, 이용일, 김도훈, 최부연, 남병호, 김상철, 권진혁
형태사항 p. 150-156; 26 cm
주기사항 수록자료: 한국정밀공학회지. 한국정밀공학회. 11권 1호(1994년 2월), p. 150-156 11:1<150 상세보기 ISSN 1225-9071
저자: 이종현, 한국전자통신연구소, 노광기술연구실(정회원)
저자: 장원익, 한국전자통신연구소, 노광기술연구실
저자: 이용일, 한국전자통신연구소, 노광기술연구실
저자: 김도훈, 한국전자통신연구소, 노광기술연구실
저자: 최부연, 한국전자통신연구소, 노광기술연구실
저자: 남병호, 영남대학교, 물리학과
저자: 김상철, 영남대학교, 물리학과
저자: 권진혁, 영남대학교, 물리학과
출처 국립중앙도서관 바로가기
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001KMO201509136
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24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
710 ▼a한국생명윤리학회
710 ▼a토지문화관
9501 ▼a가격불명
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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