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고진공 운송계에서의 정밀 압력제어장치의 설계 및 성능시험 = Design and performance evaluation of the precision pressure control system for the high vacuum transport module
표제/저자사항 고진공 운송계에서의 정밀 압력제어장치의 설계 및 성능시험 = Design and performance evaluation of the precision pressure control system for the high vacuum transport module / 장원익, 장기호, 정기로, 이종현
형태사항 p. 92-98; 26 cm
주기사항 수록자료: 한국정밀공학회지. 한국정밀공학회. 12卷 7號(1995년 7월), p. 92-98 12:7<92 상세보기 ISSN 1225-9071
저자: 장원익, 한국전자통신연구소 반도체연구단 기반기술연구부
저자: 장기호, 한국전자통신연구소 반도체연구단 기반기술연구부
저자: 정기로, 코닉시스템(주)
저자: 이종현, 한국전자통신연구소 반도체연구단 기반기술연구부
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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