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열구동형 폴리실리콘 마이크로 액츄에이터의 제작 및 특성분석 = Fabrication of thermally-driven polysilicon microactuator and its characterization
표제/저자사항
열구동형 폴리실리콘 마이크로 액츄에이터의 제작 및 특성분석 = Fabrication of thermally-driven polysilicon microactuator and its characterization / 이종현, 이창승, 장원익, 유형준
형태사항
p. 153-159; 26 cm
주기사항
수록자료: 한국정밀공학회지. 한국정밀공학회. 14卷 12號(1997년 12월), p. 153-159 14:12<153 상세보기 ISSN 1225-9071
저자: 이종현, 한국전자통신연구소 반도체연구단 기반기술연구부
저자: 이창승, 한국전자통신연구소 반도체연구단 기반기술연구부
저자: 장원익, 한국전자통신연구소 반도체연구단 기반기술연구부
저자: 유형준, 한국전자통신연구소 반도체연구단 기반기술연구부
저자: 이종현, 한국전자통신연구소 반도체연구단 기반기술연구부
저자: 이창승, 한국전자통신연구소 반도체연구단 기반기술연구부
저자: 장원익, 한국전자통신연구소 반도체연구단 기반기술연구부
저자: 유형준, 한국전자통신연구소 반도체연구단 기반기술연구부
출처
국립중앙도서관 바로가기
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001KMO201509136
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24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
710 ▼a한국생명윤리학회
710 ▼a토지문화관
9501 ▼a가격불명
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
