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열구동형 폴리실리콘 마이크로 액츄에이터의 제작 및 특성분석 = Fabrication of thermally-driven polysilicon microactuator and its characterization
표제/저자사항 열구동형 폴리실리콘 마이크로 액츄에이터의 제작 및 특성분석 = Fabrication of thermally-driven polysilicon microactuator and its characterization / 이종현, 이창승, 장원익, 유형준
형태사항 p. 153-159; 26 cm
주기사항 수록자료: 한국정밀공학회지. 한국정밀공학회. 14卷 12號(1997년 12월), p. 153-159 14:12<153 상세보기 ISSN 1225-9071
저자: 이종현, 한국전자통신연구소 반도체연구단 기반기술연구부
저자: 이창승, 한국전자통신연구소 반도체연구단 기반기술연구부
저자: 장원익, 한국전자통신연구소 반도체연구단 기반기술연구부
저자: 유형준, 한국전자통신연구소 반도체연구단 기반기술연구부
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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