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10nano-meter 분해능을 갖는 laser scale을 이용한 위치 결정 실험 = Experiment for position accuracy using laser scale unit with 10 nano-meter resolution
표제/저자사항 10nano-meter 분해능을 갖는 laser scale을 이용한 위치 결정 실험 = Experiment for position accuracy using laser scale unit with 10 nano-meter resolution / 임선종, 정광조, 최재완
형태사항 p. 21-26; 26 cm
주기사항 수록자료: 한국정밀공학회지. 한국정밀공학회. 17卷 1號(2000년 1월), p. 21-26 17:1<21 상세보기 ISSN 1225-9071
저자: 임선종, 한국기계연구원, 자동화 연구부
저자: 정광조, 한국기계연구원, 자동화 연구부
저자: 최재완, 한국기계연구원, 자동화 연구부
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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