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클린 튜브 시스템 이송 유닛의 웨이퍼 운동 역학 모델링 = Wafer motion modeling of transfer unit in clean tube system
표제/저자사항 클린 튜브 시스템 이송 유닛의 웨이퍼 운동 역학 모델링 = Wafer motion modeling of transfer unit in clean tube system / 신동헌, 정규식, 윤정용
형태사항 p. 66-73; 26 cm
주기사항 수록자료: 한국정밀공학회지. 한국정밀공학회. 21권 3호(2004년 3월), p. 66-73 21:3<66 상세보기 ISSN 1255-9071
저자: 신동헌, 서울시립대학교 기계정보공학과 E-MAIL: shin@uos.ac.kr
저자: 정규식, 서울시립대학교 기계정보공학과
저자: 윤정용, 서울시립대학교 기계정보공학과
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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