국가전거
저자 전거 검색
기사
미터 소급성을 갖는 원자간력 현미경을 이용한 1차원 격자 피치 측정과 불확도 평가 = Pitch measurement of one-dimensional gratings using a metrological atomic force microscope and uncertainity evaluation
표제/저자사항
미터 소급성을 갖는 원자간력 현미경을 이용한 1차원 격자 피치 측정과 불확도 평가 = Pitch measurement of one-dimensional gratings using a metrological atomic force microscope and uncertainity evaluation / 김종안, 김재완, 박병천, 엄태봉, 강주식
형태사항
p. 84-91; 26 cm
주기사항
수록자료: 한국정밀공학회지. 한국정밀공학회. 22권 4호(2005년 4월), p. 84-91 22:4<84 상세보기 ISSN 1255-9071
저자: 김종안, 한국표준과학연구원 광기술표준부 길이그룹 E-MAIL: jakim@kriss.re.kr
저자: 김재완, 한국표준과학연구원 광기술표준부 길이그룹
저자: 박병천, 한국표준과학연구원 광기술표준부 길이그룹
저자: 엄태봉, 한국표준과학연구원 광기술표준부 길이그룹
저자: 강주식, 한국표준과학연구원 광기술표준부 길이그룹
저자: 김종안, 한국표준과학연구원 광기술표준부 길이그룹 E-MAIL: jakim@kriss.re.kr
저자: 김재완, 한국표준과학연구원 광기술표준부 길이그룹
저자: 박병천, 한국표준과학연구원 광기술표준부 길이그룹
저자: 엄태봉, 한국표준과학연구원 광기술표준부 길이그룹
저자: 강주식, 한국표준과학연구원 광기술표준부 길이그룹
출처
국립중앙도서관 바로가기
MARC 보기
001KMO201509136
00520150303111639
007ta
008150107s2001 gak 100 kor
0490 ▼lEM6076783▼lEM6076784▼c2▼fSY
05201▼a470▼b15-3
056 ▼a470▼26
08201▼a570▼223
24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
710 ▼a한국생명윤리학회
710 ▼a토지문화관
9501 ▼a가격불명
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
