기사
열처리에 따른 구리박막의 리플로우 특성 = (The)effects of the annealing on the reflow property of Cu thin film
표제/저자사항 열처리에 따른 구리박막의 리플로우 특성 = (The)effects of the annealing on the reflow property of Cu thin film / 김동원, 김상호
형태사항 p. 28-36; 26 cm
주기사항 수록자료: 한국표면공학회지. 한국표면공학회. 38권 1호(2005년 2월), p. 28-36 38:1<28 상세보기 ISSN 1225-8024
저자: 김동원, 경기대학교 재료공학과 E-MAIL: dwkim@kyonggi.ac.kr
저자: 김상호, 한국기술교육대학교 신소재공학과
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
위로