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Deep UV 마이크로 리소그라피를 위한 새로운 4-반사경 광학계에 관한 수차해석 = Further analysis of optical aberration of four-mirror optical system for deep UV submicron lithography
표제/저자사항
Deep UV 마이크로 리소그라피를 위한 새로운 4-반사경 광학계에 관한 수차해석 = Further analysis of optical aberration of four-mirror optical system for deep UV submicron lithography / 김종태, 이상수
형태사항
p. 1-8 ; 29 cm
주기사항
수록자료: 한국광학회지. 한국광학회. 4권 1호(1993년 3월), p. 1-8 4:1<1 상세보기 ISSN 1225-6285
저자: 김종태, 한국과학기술원 물리학과
저자: 이상수, 한국과학기술원 물리학과
저자: 김종태, 한국과학기술원 물리학과
저자: 이상수, 한국과학기술원 물리학과
출처
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001KMO201509136
00520150303111639
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24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
710 ▼a한국생명윤리학회
710 ▼a토지문화관
9501 ▼a가격불명
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
