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KrF 엑시머 레이저를 이용한 웨이퍼 스텝퍼의 제작 및 성능분석 = Performance evaluation of a developed KrF excimer laser stepper
표제/저자사항
KrF 엑시머 레이저를 이용한 웨이퍼 스텝퍼의 제작 및 성능분석 = Performance evaluation of a developed KrF excimer laser stepper / 이종현, 최부연, 김도훈, 장원익, 이용일, 이진효, 김상철, 권진혁
형태사항
p. 15-21 ; 29 cm
주기사항
수록자료: 한국광학회지. 한국광학회. 4권 1호(1993년 3월), p. 15-21 4:1<15 상세보기 ISSN 1225-6285
저자: 이종현, 한국전자통신연구소 반도체연구단
저자: 최부연, 한국전자통신연구소 반도체연구단
저자: 김도훈, 한국전자통신연구소 반도체연구단
저자: 장원익, 한국전자통신연구소 반도체연구단
저자: 이용일, 한국전자통신연구소 반도체연구단
저자: 이진효, 한국전자통신연구소 반도체연구단
저자: 김상철, 영남대학교 물리학과
저자: 권진혁, 영남대학교 물리학과
저자: 이종현, 한국전자통신연구소 반도체연구단
저자: 최부연, 한국전자통신연구소 반도체연구단
저자: 김도훈, 한국전자통신연구소 반도체연구단
저자: 장원익, 한국전자통신연구소 반도체연구단
저자: 이용일, 한국전자통신연구소 반도체연구단
저자: 이진효, 한국전자통신연구소 반도체연구단
저자: 김상철, 영남대학교 물리학과
저자: 권진혁, 영남대학교 물리학과
출처
국립중앙도서관 바로가기
MARC 보기
001KMO201509136
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24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
710 ▼a한국생명윤리학회
710 ▼a토지문화관
9501 ▼a가격불명
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
