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KrF 엑시머 레이저를 이용한 웨이퍼 스텝퍼의 제작 및 성능분석 = Performance evaluation of a developed KrF excimer laser stepper
표제/저자사항 KrF 엑시머 레이저를 이용한 웨이퍼 스텝퍼의 제작 및 성능분석 = Performance evaluation of a developed KrF excimer laser stepper / 이종현, 최부연, 김도훈, 장원익, 이용일, 이진효, 김상철, 권진혁
형태사항 p. 15-21 ; 29 cm
주기사항 수록자료: 한국광학회지. 한국광학회. 4권 1호(1993년 3월), p. 15-21 4:1<15 상세보기 ISSN 1225-6285
저자: 이종현, 한국전자통신연구소 반도체연구단
저자: 최부연, 한국전자통신연구소 반도체연구단
저자: 김도훈, 한국전자통신연구소 반도체연구단
저자: 장원익, 한국전자통신연구소 반도체연구단
저자: 이용일, 한국전자통신연구소 반도체연구단
저자: 이진효, 한국전자통신연구소 반도체연구단
저자: 김상철, 영남대학교 물리학과
저자: 권진혁, 영남대학교 물리학과
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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