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TiN 박막의 경도 및 밀착력에 미치는 pulsed DC PACVD 공정인자의 영향 = (The)effect of process parameters of pulsed DC PACVD on hardness and adhesion of TiN thin films
표제/저자사항
TiN 박막의 경도 및 밀착력에 미치는 pulsed DC PACVD 공정인자의 영향 = (The)effect of process parameters of pulsed DC PACVD on hardness and adhesion of TiN thin films / 김진관, 윤재홍, 변응선, 이구현, 이상로
형태사항
p. 519-531 ; 26 cm
주기사항
수록자료: 産技硏論文集. 昌原大學校 産業技術硏究所. 11집(1997년 6월), p. 519-531 11<519 상세보기
저자: 윤재홍, 창원대학교 재료공학과
저자: 변응선, 한국기계연구원 재료공정연구부
저자: 이구현, 한국기계연구원 재료공정연구부
저자: 이상로, 한국기계연구원 재료공정연구부
저자: 윤재홍, 창원대학교 재료공학과
저자: 변응선, 한국기계연구원 재료공정연구부
저자: 이구현, 한국기계연구원 재료공정연구부
저자: 이상로, 한국기계연구원 재료공정연구부
출처
국립중앙도서관 바로가기
MARC 보기
001KMO201509136
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24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
710 ▼a한국생명윤리학회
710 ▼a토지문화관
9501 ▼a가격불명
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
