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TiN 박막의 경도 및 밀착력에 미치는 pulsed DC PACVD 공정인자의 영향 = (The)effect of process parameters of pulsed DC PACVD on hardness and adhesion of TiN thin films
표제/저자사항 TiN 박막의 경도 및 밀착력에 미치는 pulsed DC PACVD 공정인자의 영향 = (The)effect of process parameters of pulsed DC PACVD on hardness and adhesion of TiN thin films / 김진관, 윤재홍, 변응선, 이구현, 이상로
형태사항 p. 519-531 ; 26 cm
주기사항 수록자료: 産技硏論文集. 昌原大學校 産業技術硏究所. 11집(1997년 6월), p. 519-531 11<519 상세보기
저자: 윤재홍, 창원대학교 재료공학과
저자: 변응선, 한국기계연구원 재료공정연구부
저자: 이구현, 한국기계연구원 재료공정연구부
저자: 이상로, 한국기계연구원 재료공정연구부
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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