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X-ray 마스크용 W$$N_x$$< / TEX> 박막 증착에 관한 연구 = (A)study on deposition of tungsten nitride thin film for X-ray mask.1
표제/저자사항 X-ray 마스크용 W$$N_x$$< / TEX> 박막 증착에 관한 연구 = (A)study on deposition of tungsten nitride thin film for X-ray mask.1 / 장철민, 최병호
형태사항 p. 147-153 ; 30 cm
주기사항 수록자료: 한국재료학회지. 韓國材料學會. 8권 2호(1998년 2월), p. 147-153 8:2<147 상세보기 ISSN 1225-0562
저자: 장철민, 금오공과대학교 재료·금속공학부
저자: 최병호, 금오공과대학교 재료·금속공학부
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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