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SiNx / Si 구조를 이용한 SiC 박막성장 = Growth of SiC film on SiNx / Si structure
표제/저자사항 SiNx / Si 구조를 이용한 SiC 박막성장 = Growth of SiC film on SiNx / Si structure / 김광철, 박찬일, 남기석, 임기영
형태사항 p. 276-281 ; 30 cm
주기사항 수록자료: 한국재료학회지. 韓國材料學會. 10권 4호(2000년 4월), p. 276-281 10:4<276 상세보기 ISSN 1225-0562
저자: 김광철, 전북대학교 반도체과학기술학과
저자: 박찬일, 전북대학교 반도체과학기술학과
저자: 남기석, 전북대학교 반도체과학기술학과, 전북대학교 화학공학부
저자: 임기영, 전북대학교 반도체과학기술학과, 전북대학교 과학기술학부
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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