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미세 도금틀 형성을 위한 폴리이미드의 이방성 O₂RIE 식각에 관한 연구 = (A)study on the anisotropic O₂ RIE etching of polyimide for micro electroplating mold
표제/저자사항
미세 도금틀 형성을 위한 폴리이미드의 이방성 O₂RIE 식각에 관한 연구 = (A)study on the anisotropic O₂ RIE etching of polyimide for micro electroplating mold / 白昌煜, 金容權
형태사항
p. 298-300 ; 30 cm
주기사항
수록자료: 전기학회논문지. 대한전기학회. 46卷 2號(1997년 2월), p. 298-300 46:2<298 상세보기 ISSN 0254-4172
저자: 백창욱, 정회원, 서울대 대학원 전기공학부 박사과정
저자: 김용권, 정회원, 서울대 공대 전기공학부 부교수, 공박
저자: 백창욱, 정회원, 서울대 대학원 전기공학부 박사과정
저자: 김용권, 정회원, 서울대 공대 전기공학부 부교수, 공박
출처
국립중앙도서관 바로가기
MARC 보기
001KMO201509136
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24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
710 ▼a한국생명윤리학회
710 ▼a토지문화관
9501 ▼a가격불명
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
