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주사 전자 현미경에서 전자빔 프르브 생성을 위한 하드웨어 설계 = Hardware design for generation of electron probe in scanning electron microscopy
표제/저자사항 주사 전자 현미경에서 전자빔 프르브 생성을 위한 하드웨어 설계 = Hardware design for generation of electron probe in scanning electron microscopy / 임선종, 이찬홍
형태사항 p. 325-328 ; 26 cm
주기사항 저자: 임선종, 한국기계연구원, 지능형 생산시스템 연구본부 E-MAIL: sjlim@kimm.re.kr
저자: 이찬홍, 한국기계연구원, 지능형 생산시스템 연구본부
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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